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Wafer Loader (6", 8")
NWL-200 自動化量測整合系統 - 【Wafer Loader (6", 8")】
Nikon NWL-200 晶圓裝載機可避免人工上下料的誤操作,並與光學顯微鏡或影像測量系統 (例如 Nikon NEXIV VMZ-S系列) 搭配,整合為自動化量測系統,支援厚度 100µm、直徑6” 和8” 的晶圓進行全面檢驗。
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