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工業精密檢測設備
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CNC自動影像量測系統
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VMR-H3030
Nikon VMR-H3030 高精度機型
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隨著科技的日新月異,產品的規格要求越來越精細,使得量測工具必須能配合產品跟著提高精度,一般的量測儀器已無法滿足工業界量測上的需求。 VMR-H3030 以超高精密度和多樣性功能提供給您最佳的量測品質。
‧ NIKON 獨家的雙 Y 軸光學尺,可校正載物臺移動時可能會 ![]() ‧ 為了避免震動影響到量測結果的正確性, VMR-H3030 改良了機體的結構,增加了抗動性以減低震
![]() ‧ 先進的載物臺的設計,對於 XY 方向移動所可能產生的額外應力,因而導致載物臺不在原定光學尺 ![]() |
對於生產線擴大,正在評估新的檢驗設備的評估者而言,是否要購買專用機或是泛用機?是考量新設備時必要的決定。若是購買專用機,不僅價格高昂,而功能上卻不具延伸性,無法面面俱到。在種種的因素考量下,讓很多評估者陷入兩難,是否需要購買單一用途且價格不俗的專用機?還是購買多用途但相對精度不高的影像量測機?對於有這樣疑問的採購者, VMR-H3030 為這樣的難題找到了一舉兩得的解決方案。
適用產業:研究實驗室、高精度模具、光罩微機電系統、晶圓凸點 … 等。
機型
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VMR H3030
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VMR H3030-Z120X
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行程 (XxYxZ) mm
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300 x 300 x 150
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最小讀值
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0.01 μm
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最大承重
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30kg
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量測精度
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U 1X U 1Y
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0.6+ 2L /1000μm
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U 2XY
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0.9+ 3L /1000μm
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Z Axis
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0.9+ L/150μm
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攝影機
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B & W CCD (progressive) ; Color CCD
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工作距離
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50 mm
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高倍
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9.8 mm
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低倍
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32 mm
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倍率 ─ 視野
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Type 1
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0.5X -- 9.33 x 7 mm 7.5X -- 0.622 x 0.467 mm
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1X -- 4.67 x 3.5 mm 120X -- 0.039 x 0.029 mm |
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Type 2
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1X -- 4.67 x 3.5 mm 15X -- 0.311 x 0.233 mm
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Type 3
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2X -- 2.33 x 1.75 mm 30X -- 0.155 x 0.177 mm
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自動對焦方式
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TTL 雷射對焦和影像對焦
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光源種類
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底部光、表面光 LED 環形光
( 內環 / 外環 ) |
底部光 ( 高倍光學頭 )
表面光、暗視野 |
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電源
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AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
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電力消耗
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Max. 7A
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外觀尺寸與重量(W x D x H) mm
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僅主體
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915 x 1060 x 1300 約 450kg
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主體與防震桌
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1000 x 1100 x 1900 約 570kg
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控制箱
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250 x 550 x 500 約 31kg
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接地尺寸 (W x D) mm
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2400 x 1400
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