Nikon VMR-H3030 高精度機型

隨著科技的日新月異,產品的規格要求越來越精細,使得量測工具必須能配合產品跟著提高精度,一般的量測儀器已無法滿足工業界量測上的需求。 VMR-H3030 以超高精密度和多樣性功能提供給您最佳的量測品質。
‧  NIKON 獨家的雙 Y 軸光學尺,可校正載物臺移動時可能會 造成的扭力變形,並改良光學尺的刻度。
‧  為了避免震動影響到量測結果的正確性, VMR-H3030 改良了機體的結構,增加了抗動性以減低震 動對量測所造成的影響。
‧  先進的載物臺的設計,對於 XY 方向移動所可能產生的額外應力,因而導致載物臺不在原定光學尺 的軌道上滑動,使得量測數據產生誤差的六大因素,進行矯正預防措施。
對於生產線擴大,正在評估新的檢驗設備的評估者而言,是否要購買專用機或是泛用機?是考量新設備時必要的決定。若是購買專用機,不僅價格高昂,而功能上卻不具延伸性,無法面面俱到。在種種的因素考量下,讓很多評估者陷入兩難,是否需要購買單一用途且價格不俗的專用機?還是購買多用途但相對精度不高的影像量測機?對於有這樣疑問的採購者, VMR-H3030 為這樣的難題找到了一舉兩得的解決方案。
適用產業:研究實驗室、高精度模具、光罩微機電系統、晶圓凸點 … 等。
機型
VMR H3030
VMR H3030-Z120X
行程 (XxYxZ) mm
300 x 300 x 150
最小讀值
0.01 μm
最大承重
30kg
量測精度
U 1X U 1Y
0.6+ 2L /1000μm
U 2XY
0.9+ 3L /1000μm
Z Axis
0.9+ L/150μm
攝影機
B & W CCD (progressive) ; Color CCD
工作距離
50 mm
高倍
9.8 mm
低倍
32 mm
倍率 ─ 視野
Type 1
0.5X -- 9.33 x 7 mm 7.5X -- 0.622 x 0.467 mm

1X -- 4.67 x 3.5 mm 120X -- 0.039 x 0.029 mm

Type 2
1X -- 4.67 x 3.5 mm 15X -- 0.311 x 0.233 mm
Type 3
2X -- 2.33 x 1.75 mm 30X -- 0.155 x 0.177 mm
自動對焦方式
TTL 雷射對焦和影像對焦
光源種類
底部光、表面光 LED 環形光
( 內環 / 外環 )
底部光 ( 高倍光學頭 )
表面光、暗視野
電源
AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz
電力消耗
Max. 7A
外觀尺寸與重量(W x D x H) mm
僅主體
915 x 1060 x 1300 約 450kg
主體與防震桌
1000 x 1100 x 1900 約 570kg
控制箱
250 x 550 x 500 約 31kg
接地尺寸 (W x D) mm
2400 x 1400


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