Nikon NEXIV VMR-K3040ZC

Confocal Nexiv 創新功能多樣性影像測量系統。設備強化了Nikon對於光電一體設備之優勢與領先幅度。獨特的共焦技術提升了檢測高度之能力, 明視野鏡頭具有15倍變焦與TTL同軸雷射自動對焦系統。無論是幾何量測或是你需要二維或三維檢查和評估,都提供了一種快速和準確的選擇。Confocal Nexiv可以大量應用於測量各種Bump height、先進IC封裝如loop height以及檢查高度複雜的結構如微機電系統及探針卡等。
特點
▲領先業界之非接觸式影像/Laser量測系統
▲新開發之大面積高度資訊探測功能分析應用
▲高精度之高度量測
▲重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ)
▲測高速度: 1.5 sec (1 cycle time)
應用
IC package
"Flip Chip/COF(Bump)/COG "
"Interposer (Pad height) "
"MEMS ‧Probe Card (Silicon Probe, Au Probe) "
"Precise Glass Components (Micro Lens, Contact Lens) "
Photo Spacer Width/Height for Color Filter for FPD Panel

Bright field

Dark field

3D CF image

EDF image

CSP Bump height and size

Bonding Wire-loop height

 
規格
物鏡選擇
倍率
1.5x
3x
7.5x
工作距離(W.D.)
24mm
24mm
5mm
Confocal optics (測高範圍)
最大測高距離
1mm
1mm
1mm
視野
8mm x 6mm
4mm x 3mm
1.6mm x 1.2mm
Z 軸重複性 (2σ)
0.6μm
0.35μm
0.25μm


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