國祥首頁首頁 箭頭 最新消息 箭頭 Sensofar為什麼要開發3合1技術?

Sensofar為什麼要發展3合1(共聚焦+干涉測量+焦距變化)技術?

作為一個高性能的3D光學輪廓儀,S neox的性能優於所有市場上現有的光學輪廓儀,結合了3大技術:共聚焦(用於具有高斜率的表面)、干涉測量(最高的垂直分辨率)和焦距變化(高速量測),在同一個感測頭上即可完成並且沒有任何機械移動元件。
    共聚焦輪廓儀測量可以從平滑到非常粗糙表面的表面高度,空間採樣小至0.10μm。高NA(0.95)和高放大倍率(150X)物鏡可用於測量在光滑表面上大於 70°和粗糙表面上達到86°的斜率。 Sensofar專有的共聚焦演算法提供在nm尺度上良好的垂直重複性。
    白光垂直掃描干涉儀(VSI)測量光滑到中等粗糙表面的表面高度,不受限於NA值提供nm垂直分辨率。因此,S neox在任何倍率下都能提供良好的高度解析力。
    焦點系統是一種用於測量大粗糙表面形狀的光學技術。 Sensofar專門設計在彌補低放大倍率的共聚焦測量。該技術的亮點包括高坡度表面(高達86°)、最高測量速度(mm / s)和大垂直範圍。
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