國祥首頁首頁 箭頭 最新消息 箭頭 mechatronic 與 Nikon 的產品組合應用分享

Features

  1.  Unattended fully automated FOUP measurement
  2.  SECSII/GEM communication with Host Computer
  3.  Wafer sorter function including

 

Profits

1)  Minimize breakage of wafers caused by dimensional errors of FOUP

2)  Low cost of ownership (Low maintenance costs)

3)  Saving of costs of 1 operator/shift

              (3 operators/year)

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