三大模式藉由軟體切換 Confocal：共軛焦的開發是為了量測從平坦到很粗糙的表面。藉由表面的垂直掃描，讓物鏡的焦點掃過樣本表面，藉此找出表面每個pixel的對應高度。共軛焦輪廓提供了超高的解析度，樣品斜率最大容許至70度。
白光干涉：VSI (Vertical Scanning interferometers) 已經被應用在表面量測一段時間了，利用干涉條紋掃過物體表面，藉由偵測干涉條紋最大強度的位置，來勾勒出整個表面形貌。
相位差干涉：相位差干涉是干涉量測上的新型應用，專門用來對付高低差極小的樣本，高低差小於200nm的樣本，或是非常平坦的粗糙度都非常適用使用此模式測量。
用途：是用薄膜、透明等產品，觀察量測及微小表面粗糙度及X、Y、Z量測功能。 適用產業：光學、生物醫學、材料、LED、半導體、IC封裝、LCD、MEMS...等。
服務專線：02-2740-3366 分機268 陳小姐 |
