NIKON干涉物鏡是一種特殊規格的鏡頭,可接在NIKON金相顯微鏡做干涉條紋的觀察或是客戶自製的非接觸自動影像量測設備(AOI)。
常見的干涉物鏡有兩種型式:
1.Michelson Interferometer(邁克森干涉):
在某些產業的工件是極度敏感且容易被污染的,例如:半導體元件。為了避免直接接觸而造成工件的損壞,便會應用邁克森法做量測,NIKON的TI 2.5X, 5X物鏡為邁克森的應用。
2.Mirau Interferometer(米洛干涉)：
NIKON的DI鏡頭10X, 20X, 50X為米洛的應用
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