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NIKON VMZ-R +自動化傳送系統
[獨家客製 自動化機構]
NIKON VMZ-R +自動化傳送系統
 
 
 
自動傳送系統,大多都是客製的,因為每個客戶需求都不同,但大致有幾個固定的步驟,需要和不需要,都要事先確認。
  • Load port (裝載口):
1.png - NIKON VMZ-R +自動化傳送系統
需要確認客戶有幾個load port 需求及運作方式,如兩個 或三個等。是同時放置不同的尺吋晶圓,還是相同等等。此需求會影響軟體如何撰寫。
 
  • Wafer mapping:
2-1.png - NIKON VMZ-R +自動化傳送系統   2-2.png - NIKON VMZ-R +自動化傳送系統
當晶圓輸送盒 放上load port 後,開始作業的第一個動作就是掃瞄晶圓輸送盒,這是要膫解晶圓輸送盒內晶圓的位置與片數狀況。
 
  • Pre-Aligner (預對準器)
3.png - NIKON VMZ-R +自動化傳送系統
這是要定位平邊的機構,是一個很重要的裝置,確保機台載入至準確的位置。
 
  • 晶圓ID讀取
4.png - NIKON VMZ-R +自動化傳送系統
這個部份就不是每一個客戶都需要,有的需要辨識晶圓ID,有的是要辨識輸送盒ID,有的都不需要。
 
 
 
以上是硬體方面的,接下來就是軟體方面的需求,這就與整個操作流程有關,也會因客戶不同需求有異,大致說明於下。
  • 自動傳送系統基本上都會有 自動 與手動 兩種模式。
自動模式:
當晶圓輸送盒放置於裝載口的那一瞬間,通常會跳出一個視窗,輸入基本資料,如OP ID,批號等等,接下來就會全部自動化。系統會進入遠端控制模式,對晶圓輸送盒進行晶圓掃瞄,然後內部交握自動帶出量測程式,並將晶圓傳送至載物台,進行量測,結束後將晶圓送回並選取下一片,待整個量測結束後,又會將量測結果自動上傳sever,整盒量測完畢後,又可以更換新的晶圓輸送盒,整個工作完全不會停止 。
手動模式:
I. 輸入OP 與產品等資料: 當晶圓輸送盒放置於裝載口的那一瞬間,通常會跳出一個視窗輸入基本資料,如OP ID,批號等等,並要人工選擇量測程式。
II.  按自動執行開始,自動量測機台會自動將晶圓輸送盒內的晶圓量測完畢
III. 人工開啟量測結果檔讀取或傳送資料
IV. 更換晶圓輸送盒,重新開始
 
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