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工業顯微鏡 光學量測
光學量測
  • 開口數 (N.A=Numerical Aperture)
開口數N.A是決定物鏡的分解能、焦點深度、影像的清晰等的重要條件。
開口數N.A由下面的公式來表示,這個數值越大,能得到高解析影像,焦點深淺的像。
 
li.gif - 工業顯微鏡 光學量測
  • N.A.=n.Sinθ
n是物鏡頭部與工件之間的媒介的折射率。媒介是空氣的時候n=1.0。
θ是通過物鏡最外側的光線與鏡頭中心主光軸之間的角度。
 
  • 解像力(R=Resolving power)
解析力通常指的是可分辨兩目標物(objective)間的最小極限距離
解析力R)是由開口數N. A和波長λ來決定的。
 
簡報1.jpg - 工業顯微鏡 光學量測
  • 解析值(Resolution) :α=λ/(2 x NA)
   λ:550nm(≒546nm:e line 可見光)
當物鏡的NA值等於0.55時 , 解析值為何 ?
例 : 當解析力為1μm時 , 在1mm的尺寸中可以判別1000條線 (spaces / mm) ; 當解析力為2μm時 , 在1mm的尺寸中可以判別500條線。
 
li2.gif - 工業顯微鏡 光學量測
  • 工作距離 (W.D=Working Distance)
工作距離是指對焦後,從工件表面到物鏡頭之間的距離。
 
  • 同焦距離
同焦距離是指對焦後,從工件表面到物鏡安裝位置之間的距離。
 
  • 無限遠補正光學系
使用物鏡與成像鏡頭組成的光學系統稱為無限遠補正光學系。
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