影像量測儀器 與 AOI 檢測機的差異
常常在評估量測機時,我們會把影像量測機(例如Nikon 的VMZ系列)和AOI(自動光學檢查機)搞混，因為很多AOI也有量測功能，甚至還標示了精度。
以下特別針對AOI的特性做些分析，讓大家知道兩者的差異性，供大家做為評估儀器的參考。
- 影像量測機的核心價值："精度"
- 技術要求的重點："準" "快"
- AOI 檢查機的核心價值："找出缺陷"
- 技術要求的重點："快" "正確"
影像量測機是屬於品保，甚至研發的設備.快固然也很重要，但是 ”準 ” ,才是真正的重點,而且還要分析異常的原因,撰寫報告等,可以容許較長的作業時間。
機台本身通常配有可移動載物台，內建X、Y、Z軸光學尺，各式倍率，自動對焦系統，精度標示是線性誤差的標示法，如U1= (1.2+4L/1000)µm。
一般AOI設備都是裝備在製造機台上，屬於in-line的設備.製造完後馬上找缺陷，一旦花費的時間太久，將會影響製造的產量。在技術要求上，需要在60秒內完成找出缺陷的動作。所以 "快"更是AOI設備的最重要的要求。即使是離線的AOI設備，也是放置在製造現場，我們可以稱AOI設備為製造流程的一環。
可以說AOI 是2D的影像比對儀器。為了達到快，所以影像儘量要覆蓋大範圍面積，為此倍率就要低，光學解析就不會好，精度自然也就差。若要提高精度，則需要高倍率鏡頭，但是視野小，會嚴重影響速度，加上高倍率的景深小，若待測處不是很平的平面(通常不會是)會造成影像部分模糊的現象，造成嚴重的誤判。
在ITO(導電薄膜)的AOI儀器上，精度可以標示到5µm(就品保量測上，精度仍是不夠的)。但是真正高精度的量測需求，是需要作擺正( alignment，工件座標 )的。
要可以擺正的基準，往往不在視野內，這超出AOI的能力，因為它只能做視野內的量測，雖然技術上可以用"接圖 ( stiching )"的方式來做，但是接圖會有不小的誤差，無法達到高精度。理論上AOI應該很適合光罩產業，只要倍率夠大，產品又很平，但是實際上，光罩產業絕不會用AOI設備來做量測，因為它的精度不可信賴。
所以若需要的是一台以量測為主，有精度要求的儀器，應該以"量測儀器" 為主要考量。
Nikon的影像量測機 VMZ系列在業界有良好的風評，有興趣的客戶可以跟我們聯絡。