國祥首頁首頁 箭頭 最新消息 箭頭 影像量測機與 AOI 檢測機的差異
影像量測儀器 與 AOI 檢測機的差異
 
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常常在評估量測機時,我們會把影像量測機(例如Nikon 的VMZ系列)和AOI(自動光學檢查機)搞混,因為很多AOI也有量測功能,甚至還標示了精度。
以下特別針對AOI的特性做些分析,讓大家知道兩者的差異性,供大家做為評估儀器的參考。
  • 影像量測機的核心價值:"精度"
  • 技術要求的重點:"準" "快"
  • AOI 檢查機的核心價值:"找出缺陷"
  • 技術要求的重點:"快" "正確"
影像量測機是屬於品保,甚至研發的設備.快固然也很重要,但是 ”準 ” ,才是真正的重點,而且還要分析異常的原因,撰寫報告等,可以容許較長的作業時間。
機台本身通常配有可移動載物台,內建X、Y、Z軸光學尺,各式倍率,自動對焦系統,精度標示是線性誤差的標示法,如U1= (1.2+4L/1000)µm。
一般AOI設備都是裝備在製造機台上,屬於in-line的設備.製造完後馬上找缺陷,一旦花費的時間太久,將會影響製造的產量。在技術要求上,需要在60秒內完成找出缺陷的動作。所以 "快"更是AOI設備的最重要的要求。即使是離線的AOI設備,也是放置在製造現場,我們可以稱AOI設備為製造流程的一環。
可以說AOI 是2D的影像比對儀器。為了達到快,所以影像儘量要覆蓋大範圍面積,為此倍率就要低,光學解析就不會好,精度自然也就差。若要提高精度,則需要高倍率鏡頭,但是視野小,會嚴重影響速度,加上高倍率的景深小,若待測處不是很平的平面(通常不會是)會造成影像部分模糊的現象,造成嚴重的誤判。
在ITO(導電薄膜)的AOI儀器上,精度可以標示到5µm(就品保量測上,精度仍是不夠的)。但是真正高精度的量測需求,是需要作擺正( alignment,工件座標 )的。
要可以擺正的基準,往往不在視野內,這超出AOI的能力,因為它只能做視野內的量測,雖然技術上可以用"接圖 ( stiching )"的方式來做,但是接圖會有不小的誤差,無法達到高精度。理論上AOI應該很適合光罩產業,只要倍率夠大,產品又很平,但是實際上,光罩產業絕不會用AOI設備來做量測,因為它的精度不可信賴。
所以若需要的是一台以量測為主,有精度要求的儀器,應該以"量測儀器" 為主要考量。
Nikon的影像量測機 VMZ系列在業界有良好的風評,有興趣的客戶可以跟我們聯絡。
 
 
 

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