Nikon CNC影像量測系統
Confocal NEXIV VMZ 系列
Nikon CNC影像量測系統-Confocal NEXIV VMZ 系列 是在 NEXIV VMZ 機型上加上Confocal 的量測功能。
- X , Y , Z 三軸尺寸量測
- 非接觸的量測(工件不可碰觸)
- 需放大作量測(工件很小)
- 高精度的量測(去除人為誤差/保證U2精度)
- 高速度/大量的量測(CNC自動量測)
- 同軸雷射作Z軸高精度的量測
- 量測結果快速輸出
以上幾乎可以涵蓋大部分產業關於影像量測的需求，但是近來產業升級，有需要更快速，Z軸尺寸的量測需求。Nikon Confocal NEXIV VMZ 系列正是這種需求的最佳解決方案，不但保有原本VMZ的量測功能,，還增加了Confocal的量測功能。
Confocal 量測功能的特性是，可以把視野內的影像，做全面快速的Z軸掃描，得到所有視野內的Z軸尺寸數據。
從明視野影像到Confocal 影像
不但視野內的Z軸資訊全部獲得，也可透過顏色，呈現工件的高度變化，此儀器很適合用在IC 封裝產業，量測金線高度，Bump和Pad的高度。
或者是Probe Card 產業量測共平面度。
