如何快速的量測一整個區域的高度差

若要量測一整個區域的高度差，傳統的方式要做多次對焦，量測每個位置的 Z 值再計算。

現在有更聰明的方式，使用表面輪廓儀一次性的量測整個視野的高度差，若量測區域超出視野外，也可以設定掃描區域，拼圖做掃描。

 

例如：要量測下列區域的高度差

 

 

可以使用表面輪廓儀做整個面的 Z 軸掃描，呈現出 3D 立體圖。

 

 

此時可以看出這個區域的高低變化

 

 

再使用軟體計算「階梯高」的功能，便可得到這整個區域的高度差值。

 

 

也可對有興趣的區域任意拉一條直線做高度的分析。

 

 

國祥貿易代理的 Nanofocus 可以提供這方面的最佳解決方案。

 

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