光罩產業的量測需求主要有兩個 :

1, 超高的精度要求 : 小於 1 µm

2, 超高的倍率需求 : 1000 ~ 2000 倍

Nikon 提供的量測儀器 :

VMR-H3030

精度 0.6+2L/1000  µm

搭配 Z120X 雙鏡頭光學系統

最大倍率可達 4320倍

最小量測線寬 1µm

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