目前市面上 6" 和 8" Wafer 缺乏可結合的精密可靠量測設備，需通過不同站別，才能達到檢查和量測的需求。
NIKON 提供自動送片機 NWL 和 VMZ-S3020 機密量測機，可以達成此一目標，將自動送片及自動量測兩者合而為一。

▲傳統的檢查和量測流程，可能需切片，耗時耗人力，成本高。

▲Nikon VMZ-S3020 除高精度自動量測，也可搭配瑕疵檢測軟體做 AOI，可客製化軟體

如有 12" Wafer 需求，同樣也可搭配 efem 自動送片機，達到高精度自動量測的需求！

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