水平基準對於量測的重要性

大部份一般量測情況，將待測物直接置於平台玻璃上即可進行，然而若要進行公差範圍小於 5um 的精密量測，則容易產生誤差。
這是因為當待測物置於平台玻璃上時，該待測物與玻璃之接觸面並非完全平整面，將該待測物置於玻璃平台上時，會產生一個傾斜角而使得待測物呈現傾斜狀態（詳如圖一所示），於此情況下若以數值計算，假設一待測物為 6 吋晶圓，於該晶圓上之量測範圍為 100mm 之矩型區域，而傾斜角為 1 度，以三角函數計算，100xcos1=99.9847mm。亦即，長度為 100mm 的量測尺寸，會因為傾斜角為 1 度，造成量測之尺寸變成 99.9847mm，即相差 15.3um（詳如圖二所示），由此可知傾斜角度必然會造成量測上的誤差。

量測誤差是來自接觸誤差所造成的傾斜，因此為了縮小誤差，量測時必須建立新的水平面於待測物之量測表面，計算待測物的座標位置時，可利用新的水平面計算該座標尺寸，進而達到修正誤差之目的。
透過 Nikon VMZ-S 系列建立水平面於待測物之量測表面非常容易，只需使用影像或雷射對焦於該量測表面即可。對焦點數建議 4 點以上，且建立於該量測表面的 4 個角落。其中要特別注意的是建立水平面要設定於原點軸向之前，也就是說撰寫自動程式時，要先建立水平面，再建立座標軸向，如果建立順序相反的話，會發生原點軸向被移動的狀況，導致量測產生誤差。

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