Nikon VM 系列應用於探針卡的量測
共聚焦影像
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高度資訊的影像
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探針卡 3D 圖
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應用範圍
探針卡是晶圓與電子測試系統之間的媒介,目的是提供晶片與測試機之間的連結,並完成晶圓測試,量測項目分別有針徑、針位(圓心位置)、針高及共平面度。
優點
Nikon Confocal NEXIV 有兩組光學系統.:分別為 Confocal 光學系統及明視野光學系統,使用 Confocal 光學系統, 所有 X、Y、Z 資訊,只需花費 3- 5秒 Z 軸一次掃描中完成。
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